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Edwards真空泵
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EPX500NE 半导体干式真空泵
EPX500NE
新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能,运行成本更低。 EPX500 使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。 EPX NE 系列的泵具有一个终用户控制器 (EUC)。 通过终用户控制器可以实现独立使用的本地控制,并能够连接到结构的网络,以进行远程控制和监视。
EPX500N 半导体干式真空泵
EPX500N
新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能,运行成本更低。EPX500 使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。 模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列,可提供的性能,与 IPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX500LE 半导体干式真空泵
EPX500LE
新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能,运行成本更低。EPX500 使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。 模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列,可提供的性能,与 IPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。 EPX LE 系列的泵具有一个终用户控制器 (EUC)。通过终用户控制器可以实现独立使用的本地控制,并能够连接到结构的网络,以进行远程控制和监视。
EPX500L 半导体干式真空泵
EPX500L
新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能,运行成本更低。EPX500 使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。 模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列,可提供的性能,与 IPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX180NE 半导体干式真空泵
EPX180NE
新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能,运行成本更低。 EPX180 使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。 EPX NE 系列的泵具有一个终用户控制器 (EUC)。 通过终用户控制器可以实现独立使用的本地控制,并能够连接到结构的网络,以进行远程控制和监视。
EPX180N 半导体干式真空泵
EPX180N
新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能,运行成本更低。EPX180 使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。 模块化 EPX180 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列,可提供的性能,与 IPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX180LE 半导体干式真空泵
EPX180LE
新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能,运行成本更低。 EPX180 使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。 EPX LE 系列的泵具有一个终用户控制器 (EUC)。 通过终用户控制器可以实现独立使���的本地控制,并能够连接到结构的网络,以进行远程控制和监视。
EPX180L 半导体干式真空泵
EPX180L
新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能,运行成本更低。EPX180 使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。 模块化 EPX180 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列,可提供的性能,与 IPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
iH1800 半导体干式真空泵
iH1800
Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的性和性能。 iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。
iH1000 半导体干式真空泵
iH1000
Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的性和性能。 iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。
iH600 半导体干式真空泵
iH600
Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的性和性能。 iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。
iH160 半导体干式真空泵
iH160
Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的性和性能。 iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。
iH80 半导体干式真空泵
iH80
Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的性和性能。 iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。
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