STP-iXA2206 超高真空磁悬浮涡轮分子泵上海赫哲真空设备有限公司

STP-iXA2206 真空磁悬浮涡轮分子泵

如果您对该产品感兴趣的话，可以
产品名称：STP-iXA2206 真空磁悬浮涡轮分子泵
产品型号：STP-iXA2206
产品展商：涡轮分子泵及分子泵机组
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简单介绍

STP-iXA2206 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的 STP-iXA2205 系列的新）。该泵的高度等于 STP-A2203C 的高度，也等于 STP-iXA2205 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。这一集成的产品易于安装且占地面积小，可作为应用工具的一体化解决方案。

产品描述

製品概要

用途

金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送和站

特性与优势

紧凑型设计，包括集成的控制器
性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程

数据

入口法兰尺寸	ISO250F/VG250/ICF305
前级抽气口尺寸	KF40
抽速 N2/Ar	2200/1900 ls-1
压缩比 N2/H2	>108 / 1 x 104
极限压力	10-7 Pa (10-9 Torr)
允许的前级压力	266 Pa (2 Torr)
大气流 N2 （仅水冷）	3000 sccm
	(5.07 Pam3s-1)
大气流 Ar （仅水冷）	1400 sccm
	(2.36 Pam3s-1)
额定速度	27000 rpm
运转到 90% 额定速度的时间	<8 分钟
固定位置	任何方向
输入电压	200-240 V
大输入功率（不带 TMS）	1200 VA
重量	62 kg

大气流适用于在 15-25 °C 之间的水冷却温度下连续泵送 N2 或 Ar 气体，并且使用前级泵（10,000 l/min 大小）的情况。它会随条件变化而变化。

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产品资料

STP-iXA2206 真空磁悬浮涡轮分子泵

製品概要

用途

特性与优势

数据