nEXT T-Station 85 Dry - Turbo Pumping Station, 1Ph 230V 50/60Hz, DN 63 CF (4.5") TS85M3003 上海赫哲真空设备有限公司

nEXT T-Station 85 Dry - Turbo Pumping Station, 1Ph 230V 50/60Hz, DN 63 CF (4.5")

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产品名称：nEXT T-Station 85 Dry - Turbo Pumping Station, 1Ph 230V 50/60Hz, DN 63 CF (4.5")
产品型号：TS85M3003
产品展商：Edwards
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简单介绍

nEXT T-Station 85 Dry 涡轮分子泵- 高性能干式真空系统（型号：TS85M3003）专为需要无油、高真空环境的工业及科研应用设计。该泵站集成高效涡轮分子泵与智能控制系统，适用于半导体制造、分析仪器、真空镀膜及科研实验等领域。

产品描述

核心优势：
✔ 干式真空技术 – 无油污染，确保洁净真空环境，适合敏感应用
✔ 宽电压兼容 – 支持 230V 单相交流电（50/60Hz），全球适用
✔ 高抽速 & 稳定性能 – DN63 CF法兰接口，优化气流路径，提高效率
✔ 紧凑集成设计 – 一体化泵站，减少安装复杂度，即插即用

技术：
电源输入：1Ph 230V AC, 50/60Hz
法兰标准：DN63 CF (4.5")
适用真空范围：高真空（HV）至超高真空（UHV）
典型极限真空：< 5×10⁻⁸ mbar（取决于系统配置）

典型应用：
半导体 & 电子行业：晶圆加工、真空镀膜
科研仪器：质谱仪、电子显微镜、同步辐射装置

工业真空系统：真空炉、检漏设备、光学镀膜

参数：

系列产品：