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产品资料

STP-iXA4506 真空磁悬浮涡轮分子泵

STP-iXA4506 真空磁悬浮涡轮分子泵
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：STP-iXA4506 真空磁悬浮涡轮分子泵
  • 产品型号：YT780Z010
  • 产品展商：涡轮分子泵及分子泵机组
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简单介绍
Edwards STP-iXA4506 系列磁悬浮涡轮分子泵 (TMP) 使用的，为如今具有挑战性的应用提供业内的性能、更好的气流能力和高温管理。
产品描述

製品概要

Edwards STP-iXA4506 系列磁悬浮涡轮分子泵 (TMP) 使用的，为如今具有挑战性的应用提供业内的性能、更好的气流能力和高温管理。

用途

  • 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
  • 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
  • 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 溅射
  • 离子注入源，射束线泵送和站

特性与优势

    • 由于采用全集成控制器和电源，不需要电缆和单独的
    • 控制器安装卡槽，从而使 TMP 组件具有成本效益且结构紧凑，能够快速简单地安装在狭小的空间。
    • 大连续流量达 4300 sccm (N2)，与 STP-XA4503 相比性能提高 50% 以上。
    • 使用高 35 °C 的冷却水供应时，泵能够高效运转。
    • 提供了温度管理系统 (TMS) 装置，用于处理在过程中产生的副产品。
    • I/O 远程、RS232C、RS485、STP-Link 是标配端口。
    • UL 标记，CE 标记，符合 SEMI-S2 和 RoHS 标准。

数据

法兰
KF40
抽取速度

N2/H2 升/秒
VG300
3800/2700
ISO320F
4000/2700
VG350
4300/2700
VG400
4300/2700
压缩比 N2/H2
>108 / 103
极限压力 Pa (Torr) 10-7(10-9)
允许的前级压力 Pa (Torr) 266(2)
大气体流速 N2 1
4300
（仅水冷却） (Pa m3/sec) (7.26)
大气体流速 Ar 1
2600
（仅水冷却） (Pa m3/sec) (4.39)
额定速度 rpm 24,240
启动时间 分钟 11
固定位置
任何方向
输入电压 V 200-240
大输入功率

不带 TMS VA 1700
带 TMS VA 2200
重量 kg
VG300
109
ISO320F
111
VG350
104
VG400
111

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