HT-20B 油蒸汽扩散泵上海赫哲真空设备有限公司

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产品名称：HT-20B 油蒸汽扩散泵
产品型号：HT-20B
产品展商：油蒸汽扩散泵
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简单介绍

HT 高吞吐量系列是我们扩散泵产品中的产品，采用针对工业级用户的制造。 Edwards HT20B（ANSI20/ISO630 进气口）扩散泵可用于高、低负荷的工业应用。构造坚固，即使在高压条件下也提供极高的抽速。机械加工的铸造铝制内核可提供稳定的性能，不锈钢的泵体具有防腐蚀的特性，可以制程清洁度。这些泵可在 4 × 10-3 mbar 时提供极高的吞吐量（压力乘以抽速），适合涉及大量气体的工业制程。

产品描述

概述

HT 高吞吐量系列是我们扩散泵产品中的产品，采用针对工业级用户的制造。

Edwards HT20B（ANSI20/ISO630 进气口）扩散泵可用于高、低负荷的工业应用。构造坚固，即使在高压条件下也提供极高的抽速。机械加工的铸造铝制内核可提供稳定的性能，不锈钢的泵体具有防腐蚀的特性，可以制程清洁度。这些泵可在 4 × 10-3 mbar 时提供极高的吞吐量（压力乘以抽速），适合涉及大量气体的工业制程。

应用

真空冶金
蒸馏、干燥和脱气
薄膜覆层和喷镀
大型研究活动

功能和优势

与同等尺寸的泵相比，吞吐量高

与同等尺寸的泵相比，转换压力快

的大前级压力和对气体激增的耐受性

与同等尺寸的泵相比，具有无可比拟的抽速

集成的冷却帽，可实现佳性能和极低的回流

针对低压的自行分馏

易于更换的加热器组件

数据

相对抽速	18000 ls-1
ISO 抽速†
氮气	8000 ls-1
氦气	16000 ls-1
大吞吐量（氮气）	24 mbar ls-1
	18 Torr ls-1
临界前级压力 (DC704EU)	1.3 mbar/
	1 Torr
大吞吐量时的前级泵排量	135 m3h-1
	80 ft3min-1
的前级泵‡	GXS250、E2M175
的液体	DC704EU
液体充填量（干）	3600 ml / 3.8 qt
进气口/前级连接	ANSI20/ANSI4 或
	ISO630/ISO160
水接头	3/4 英寸 NPT 母头
加热器功率	12.6 kW/16.9 hp
预热时间	60 min
冷却水流量（25 °C 时）	960 l h-1 / 4.2 US gal min-1
冷却水供给源两端的压力降	1.2 bar / 17.4 psi
重量	275 kg / 605 lbs

† 通过总压力测量获得的 ISO 速度和吞吐量数据。部分压力读数通常使数据增加 ~30%。对于同一个泵，ISO 速度测量通常比 AVS 测量小 10%。
‡ 提供这些数据仅供参考，请联系 Edwards 获得适合您的应用的泵组合建议。

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产品资料

HT-20B 油蒸汽扩散泵

概述

应用

功能和优势

数据