半导体真空泵 - 上海赫哲真空设备有限公司

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产品图片	产品名称/型号	产品简单介绍
	iXL120干式真空泵
	GX系列干式真空泵
	EPX500 干式真空泵
	EPX180干式真空泵
	iGX系列干式真空泵
	EPX500NE 半导体干式真空泵	新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能，运行成本更低。 EPX500 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。 EPX NE 系列的泵具有一个终用户控制器 (EUC)。通过终用户控制器可以实现独立使用的本地控制，并能够连接到结构的网络，以进行远程控制和监视。
	EPX500N 半导体干式真空泵	新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能，运行成本更低。EPX500 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
	EPX500LE 半导体干式真空泵	新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能，运行成本更低。EPX500 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。 EPX LE 系列的泵具有一个终用户控制器 (EUC)。通过终用户控制器可以实现独立使用的本地控制，并能够连接到结构的网络，以进行远程控制和监视。
	EPX500L 半导体干式真空泵	新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能，运行成本更低。EPX500 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
	EPX180NE 半导体干式真空泵	新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能，运行成本更低。 EPX180 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。 EPX NE 系列的泵具有一个终用户控制器 (EUC)。通过终用户控制器可以实现独立使用的本地控制，并能够连接到结构的网络，以进行远程控制和监视。
	EPX180N 半导体干式真空泵 EPX180N	新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能，运行成本更低。EPX180 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。模块化 EPX180 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
	EPX180LE 半导体干式真空泵 EPX180LE	新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能，运行成本更低。 EPX180 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。 EPX LE 系列的泵具有一个终用户控制器 (EUC)。通过终用户控制器可以实现独立使用的本地控制，并能够连接到结构的网络，以进行远程控制和监视。
	EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L	新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是：工��性能，运行成本更低。EPX180 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。模块化 EPX180 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
	iH1800 半导体干式真空泵 iH1800	Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的性和性能。 iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。
	iH1000 半导体干式真空泵 iH1000	Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的性和性能。 iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。
	iH600 半导体干式真空泵 iH600	Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的性和性能。 iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。
	iH160 半导体干式真空泵 iH160	Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的性和性能。 iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。
	iH80 半导体干式真空泵 iH80	Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的性和性能。 iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。

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