EPX180NE 半导体干式真空泵上海赫哲真空设备有限公司

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产品名称：EPX180NE 半导体干式真空泵
产品型号：
产品展商：半导体干泵
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简单介绍

新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能，运行成本更低。 EPX180 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。 EPX NE 系列的泵具有一个终用户控制器 (EUC)。通过终用户控制器可以实现独立使用的本地控制，并能够连接到结构的网络，以进行远程控制和监视。

产品描述

製品概要

新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能，运行成本更低。 EPX180 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
EPX NE 系列的泵具有一个终用户控制器 (EUC)。通过终用户控制器可以实现独立使用的本地控制，并能够连接到结构的网络，以进行远程控制和监视。

应用

负载锁
传输腔
PVD 溅射
灰化/PR 剥离
电介质刻蚀

EPX 系列涵盖的应用，从水处理到中度工作负载的制程。
EPX“N”系列包括一个可提供氮清洗的气体模块，从而可将应用范围扩大为中等制程，在这类制程中预期存在的腐蚀性蒸汽和微粒的程度较低。

功能和优势

紧凑的占地面积 – 作为可用的工具上泵之一，EPX 节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。
低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可大化功率效率。
的保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在进气口压力下连续工作。
清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。
– EPX 基于经过现场验证的 IPX ，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，大程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络 - EPX 系列配有终用户控制，可以连接到结构的网络，以进行诊断监视和控制。

数据

峰值速度	170 m3h-1
	105 ft3min-1
	2835 lmin-1
极限真空
	<1 x 10-4 mbar
	<7.5 x 10-5 Torr
	<1 x 10-2 Pa
预热时间（达到标称性能）	30 分钟
入口法兰	ISO63
法兰	NW25
噪音	<59 dB(A)
冷却水流速	2 lmin-1
冷却水温度	15 – 35°C
氮气供给接口	1/4 in (6.5 mm) 管
氮气供给压力	3 x 105 – 7 x 105 Pa
低氮纯度	99.95%
电源供给	400 V，50/60 Hz，3 相
极限功率	1.4 kW
电机额定功率	3.0 kW
TIM	无
重量	43.5 kg

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EPX180NE 半导体干式真空泵

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