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产品资料

iH80 半导体干式真空泵

iH80 半导体干式真空泵
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：iH80 半导体干式真空泵
  • 产品型号：A59000945
  • 产品展商：干式爪型真空泵
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的性和性能。 iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。
产品描述

概述

Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的性和性能。
  
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。

应用

  • 负载锁
  • 输送
  • 计量
  • 平版印刷
  • PVD 制程
  • PVD 预清洁
  • RTA
  • 剥离/灰化
  • 刻蚀
  • 植入源
  • HDP CVD
  • RTP
  • SACVD
  • MCVD
  • PECVD
  • LPCVD
  • ALD

有关任何特定应用条件下 iH 系统稳定性的建议，请与 Edwards 联系。

功能和优势

  • 优化了设施消耗。
  • 无需预防性维护。
  • 悬臂轴和的异型转子便于颗粒的处理。
  • 在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
  • 耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
  • 较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的。
  • 整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

数据

峰值速度 103 m3h-1
61 cfm
1717 l min-1
极限真空 1 x 10-2 mbar
7.5 x 10-3 Torr
1 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO63
连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 120 l h-1
2 l min-1
重量 240 kg
极限功率输入 2.7 kW
电机额定功率 3.5 kW
油容量 0.7 l

  
数字均为无气镇时的典型值。
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