EPX500L 半导体干式真空泵上海赫哲真空设备有限公司

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产品名称：EPX500L 半导体干式真空泵
产品型号：
产品展商：半导体干泵
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简单介绍

新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能，运行成本更低。EPX500 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。

产品描述

概述

新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能，运行成本更低。EPX500 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。

应用

EPX 系列涵盖的应用，从水处理到中度工作负载的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。

功能和优势

紧凑的占地面积 – 作为可用的工具上泵之一，EPX 节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。
低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可大化功率效率。
的保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在进气口压力下连续工作。
清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。
– EPX 基于经过现场验证的 IPX ，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，大程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络 - EPX 系列配有终用户控制，可以连接到结构的网络，以进行诊断监视和控制。

数据

峰值速度	500 m3h-1
	295 ft3min-1
	8338 lmin-1
极限真空
	<1 x 10-6 mbar
	<7 x 10-7 Torr
	<1 x 10-4 Pa
预热时间（达到标称性能）	30 分钟
入口法兰	ISO160
法兰	NW25
噪音	<59 dB(A)
冷却水流速	2 lmin-1
冷却水温度	15 – 35°C
电源供给	200/208 V，50/60 Hz，3 相
极限功率	1.4 kW
电机额定功率	3.0 kW
TIM	C3
重量	45.2 kg

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EPX500L 半导体干式真空泵

概述

应用

功能和优势

数据