STP-XA4503C 超高真空涡轮分子泵上海赫哲真空设备有限公司

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产品名称：STP-XA4503C 真空涡轮分子泵
产品型号：STP-XA4503C
产品展商：涡轮分子泵及分子泵机组
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简单介绍

STP-XA4503C 磁力轴承涡轮分子泵具有很宽的制程范围（从高真空到高流量要求），对气体都具有更高的吞吐量。此泵基于新的设计，提供功能以改善热管理，从而增强在严苛制程中的性能，提高大制程流能力，并减少腐蚀和沉积的影响。它设计成既可以处理温和的应用，也可以处理严苛的应用，例如刻蚀、注入、光刻和 FPD 制程。

产品描述

製品概要

STP-XA4503C 磁力轴承涡轮分子泵具有很宽的制程范围（从高真空到高流量要求），对气体都具有更高的吞吐量。

此泵基于新的设计，提供功能以改善热管理，从而增强在严苛制程中的性能，提高大制程流能力，并减少腐蚀和沉积的影响。

它设计成既可以处理温和的应用，也可以处理严苛的应用，例如刻蚀、注入、光刻和 FPD 制程。

功能和优势

的转子设计

改进的氩气性能
同类产品中抽速高
宽的制程范围
在较低压力下具有较高的吞吐量
免维护
可用于严苛制程

5 轴磁悬浮系统

无污染
低振动
高度

经优化的温度分配

低沉积
内置冷却机械装置
更高的气体吞吐量
使用寿命延长

符合标准
列于 UL 中，具有 CE 标记，符合 SEMI® S2

数据

入口法兰尺寸	VF300、ISO320F、VG350
前级抽气口尺寸	KF40
抽速
N2	3800 至 4300 ls-1
	（取决于具体型号）
H2	2500 ls-1
压缩比
N2	>108
H2	6 x 103
极限压力	10-7 Pa / 10-9 mbar
大允许前级压力	266 Pa / 2.66 mbar
大允许气体流量 N2 （仅水冷却）	2800 sccm
	4.73 Pam3s-1
大允许气体流量 Ar （仅水冷却）	2150 sccm
	3.63 Pam3s-1
额定速度	24000 rpm
运转到 90% 额定速度的时间	12 分钟
固定位置	任何方向
水冷却
流量	3 lmin-1
温度	5 – 25 °C / 41 – 77 °F
压力	0.3 MPa
的吹扫气体流量 N2	50 sccm/8.4 x 10-2 Pam3s-1
输入电压	200 – 240 ±10 % V 交流
大输入功率（不带 TMS）	1.5 KVA

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STP-XA4503C 真空涡轮分子泵

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