STP301 超高真空涡轮分子泵上海赫哲真空设备有限公司

STP301 真空涡轮分子泵

如果您对该产品感兴趣的话，可以
产品名称：STP301 真空涡轮分子泵
产品型号：STP301
产品展商：涡轮分子泵及分子泵机组
产品文档：无相关文档

简单介绍

Edwards STP301 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子可实现的性能，大的制程灵活性。STP301 已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用，并得到了。

产品描述

概述

Edwards STP301 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子可实现的性能，大的制程灵活性。STP301 已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用，并得到了。

此 STP 泵在供货时带有入口筛网。

如需完整安装，请订购一台 STP 泵、一个控制器、一根连接电缆和一根电源电缆。

应用

金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理：射束线、加速器
放射线应用：融合系统、回旋

功能和优势

的转子

大的制程灵活性
无油
低振动
高度
免维护

的控制器设计

自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动
无电池运行

紧凑型设计

占地面积小
半机架控制器

技術データ

入口法兰	ISO100，CF100
	KF25
抽速
N2	300 ls-1
H2	300 ls-1
压缩比
N2	>108
H2	>2 x 104
加热时的极限压力（VG/ISO 法兰）	6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr)
加热时的极限压力（ICF 法兰）	10-8 Pa (10-10 Torr)
大允许进气口压力（环境空气冷却）	0.066 Pa (5 x 10-4 Torr)
大连续压力（环境空气冷却）	13 Pa (0.1 Torr)
额定速度	48000 rpm
启动时间	3 min
高入口法兰温度	120 °C
输入电压	100 至 120 (± 10%) V 交流或
	200 至 240 (± 10%) V 交流
启动时的功耗	0.55 kVA
泵重量	11 kg
控制器重量	7 kg

产品目录

产品资料

STP301 真空涡轮分子泵

概述

应用

功能和优势

技術データ