低温真空泵 (又称低温泵、冷泵、冷凝泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的容积式真空泵，是无油高真空环境获得设备。低温泵应用于半导体、集成电路、光电器件的制造工艺过程，是集成电路专用设备中的关键设备之一;低温泵也用于各种其它镀膜设备和真空应用设备中。

　　抽速 Pumping Speeds (l/s)：

　　For H2O 4200 For Air 1500 For H2 2500

　　For Ar 1200 For He 750

　　降温时间 Cool Down Time (min)：≤ 90

　　泵口法兰 Inlet Flange ( 可根据用户要求定制 ) ：ANSI 6 in. 或 CF 10 in. 或 ISO 200mm

　　低温真空泵适合应用于希望获得 10-1 Pa 至 10-9 Pa 真空度的场合，尤其适合应用于要求洁净无油和或快速抽气的场合，例如：

　　• 溅射镀膜

　　• 蒸发镀膜

　　• 离子注入

　　• 分子束外延

　　使用以上设备的工业真空镀膜，例如：半导体与集成电路前工序、光学镀膜、太阳能电池板、光电子 器件和真空电子器件制造、平板显示器件镀膜

　　• 电子束设备

　　• 空间模拟装置

　　• 高能物理研究装置

　　• 加速器束流管

　　• 表面分析装置

　　• 质谱仪

　　• 真空排气装置

　　• 其它高真空或超高真空装置

　　低温真空泵的组成

　　低温真空泵由低温泵头、氦压缩机和金属软管三部分组成。