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EH2600 液力偶合罗茨真空泵
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产品名称:
EH2600 液力偶合罗茨真空泵
产品型号:
EH2600
产品展商:
罗茨式真空泵
关注指数:1278
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简单介绍
Edwards EH 机械增压泵采用的液力驱动,可实现高效的动力传送,在性、性能和紧凑性方面优势。这些增压泵适用于高压力差的场合,这种高压力差使增压泵可以与前级泵同时启动,从而减少总体抽气时间。
EH2600 液力偶合罗茨真空泵
的详细介绍
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是的泵,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度。
应用
半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光
功能和优势
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的性。
EH 泵具有的无油泵送机械装置。这可提供:
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
的轴封,处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到低。
轴封的设计经过优化,可润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是设备的制造商所需要的。
数据
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EH2600
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排量(工作容积)
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2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1
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使用前级泵时的抽速
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1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1
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泵的压力差
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0-80 mbar/0-60 Torr
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进气口连接
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ISO160
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连接
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ISO100
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转速
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0-2900 rpm
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连续进气口工作压力
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0-1000 mbar/0-760 Torr
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大压力
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1000 mbar/760 Torr
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的前级泵
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GV250、GV400、
E2M175、E2M275
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电机功率
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碳氢化合物
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11 kW/15 hp
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PFPE
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7.5 kW/10 hp
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ATEX
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11 kW
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防爆
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15 hp
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环境温度范围
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工作
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5 至 40°C/40 至 104°F
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存储
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-10 至 80°C/14 至 176°F
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大工作湿度
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90% RH
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用油
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Ultragrade 20
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油容量
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齿轮箱
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3.5 l/3.3 qt
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联轴器盖
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6.5 l/7 qt
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轴封储油器
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1.5 l/1.4 qt
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重量
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308 kg/679 lb
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