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EH1200 液力偶合罗茨真空泵
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产品名称:
EH1200 液力偶合罗茨真空泵
产品型号:
EH1200
产品展商:
罗茨式真空泵
关注指数:1168
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简单介绍
Edwards EH 机械增压泵采用的液力驱动，可实现高效的动力传送，在性、性能和紧凑性方面优势。这些增压泵适用于高压力差的场合，这种高压力差使增压泵可以与前级泵同时启动，从而减少总体抽气时间。
EH1200 液力偶合罗茨真空泵
的详细介绍
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度。
应用
半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光
功能和优势
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的性。
EH 泵具有的无油泵送机械装置。这可提供：
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
的轴封，处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到低。
轴封的设计经过优化，可润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是设备的制造商所需要的。
数据
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EH1200
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排量（工作容积）
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1195 m3h-1 / 715 ft3min-1
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使用前级泵时的抽速
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840 m3h-1 / 495 ft3min-1
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泵的压力差
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0-90 mbar/0-68 Torr
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进气口连接
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ISO160
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连接
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ISO100
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转速
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0-2900 rpm
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连续进气口工作压力
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0-1000 mbar/0-760 Torr
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大压力
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1000 mbar/760 Torr
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的前级泵
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GV160、GV250、
E2M80、E2M175
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电机功率
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碳氢化合物
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3 kW/4 hp
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PFPE
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3 kW/4 hp
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ATEX
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3 kW
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防爆
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4 hp
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环境温度范围
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工作
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5 至 40°C/40 至 104°F
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存储
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-10 至 80°C/14 至 176°F
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大工作湿度
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90% RH
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用油
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Ultragrade 20
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油容量
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齿轮箱
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1.25 l/1.3 qt
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联轴器盖
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1.5 l/1.6 qt
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轴封储油器
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0.125 l/0.25 qt
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重量
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74 kg/163 lb
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