Hanbell PS602 汉钟真空泵维修干式螺旋真空泵保养

产品简介

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产品详细信息

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PS80 PS160 PS250 PS602 PS902 PS1302 PS1802
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HANBELL 真空泵精修汉钟真空泵保养

汉钟干式真空泵包括台湾汉钟干式螺杆式真空泵

PDR系列包括机型汉钟真空泵 PDR100 ，汉钟真空泵 PDR602，汉钟真空泵 PDR1202
PS系列包括机型汉钟真空泵PS80 ，汉钟真空泵PS160，汉钟真空泵 PS180，汉钟真空泵 PS602，汉钟真空泵 PS1302

台湾汉钟真空泵PS系列产品特点螺旋真空泵浦产品特色
　　
汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子，在转子间维持微小的间隙，使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑，因而无油气回漏污染的问题。透过转子线形良好的密封效果，压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短，粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强，加上转子表面披覆材质的镀膜，因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。泵浦温度控制精准
　　
汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦，承袭上一代真空泵浦优良的转子设计，同时改善壳体的冷却方式，采用水��间接水冷的方式来降低壳体的温度，能够更精准地控制泵浦内部温度，减少沉积物的产生，增加真空泵浦的寿命。密封马达性高
　　
PS系列真空泵浦亦采用设计的水冷罐装密封马达，除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外，也可避免制程气体外漏的风险。微电脑控制保护周全
　　
PS系列真空泵浦亦可配备微电脑控制器，可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低，提供真空泵浦完整的性保护，十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求极高之产业。

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