一种高真空零部件放气率测试装置的研制 胡晓月1, 陈俊儒
库仑型静电卡盘吸附力受电极结构及晶圆氧化层影响的研究 孙诗壮1,2, 赵晋荣2,
晶圆材料对J-R型静电卡盘吸附力影响的研究 孙诗壮1,2, 赵晋荣2,
多层板真空炉温度均匀性数值模拟研究 杨世杰1, 丁德甲
消除磁控溅射Cr薄膜应力环状缺陷的工艺优化 付学成1, 陈亮
液环真空泵内部流场仿真与性能试验 孟凡瑞1, 赵勇2,
罗茨真空泵排气脉动研究 张莉1, ,
RH用机械真空泵抽气过程影响因素研究 许海虹,
分子真空泵研究进展 王晓冬, ,
304不锈钢在变温真空环境下的放气特性及双机制动力学模型研究 蒋彦坤1, 赵海云1,