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技术文章

客户工况:平板显示产线采用干式真空泵故障后被动维保模式


在大批量半导体制造中,提高稳定运行时间和产量至关重要。 

哪怕只是一次非计划停机,都可能造成生产中断、增加晶圆报废风险,进而拉低晶圆厂整体产能。 

本案例介绍在显示芯片生产工况中,通过高温型分子泵升级改造,提升了泵体耐用性、减少沉积物堆积,有效提高设备稼动率并实现量化收益。

该客户是平板显示(FPD)领域头部厂商之一。其蚀刻工艺腔配套安装的 EDWARDS 涡轮分子泵 (TMP) 此前一直采用故障抢修式维保方案。此类真空泵是保障金属蚀刻工艺所需稳定真空环境的关键设备。 

受工艺副产物堆积附着影响,设备频发故障已成常态化难题,不仅拉低设备利用率、抬升维修成本,还在生产关键工段影响量产进度,造成客户生产困扰。


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