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（真空泵维修保养）真空泵的选购注意事项（一）
（真空泵维修保养）真空泵的选购注意事项
选用真空泵时，须要注意下列事项： 
1、 （真空泵维修保养）真空泵的运作压强应该满足真空设备的极限真空及运作压强要求。如：真空镀膜要求110-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常选用泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 
2、正确地选用真空泵的运作点。每种泵都有一定的运作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的运作压强范围为510-4~510-6mmHg。因而，泵的运作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期运作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下运作，但其运作压强应小于110-5mmHg为好。 
3、（真空泵维修保养）真空泵在其运作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 
4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选用性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，须要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下运作，须要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，须要前级泵，故都须要把泵组合起来使用。 

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