2xz型旋片式真空泵抽气速率

2XZ-0.25

2XZ-0.5

2XZ-1

2XZ-2

2XZ-4

2XZ-8

直联双级串联旋片式

0.25

0.5

1

2

4

8

6×10-1

6×10-2

1400

Φ10

Φ13

Φ13

Φ19

Φ19

Φ32

0.3

0.42

0.4

0.48

0.55

0.7

40

40

40

45

45

60

0.12

0.18

0.25

0.37

0.55

0.75

400

445

445

478

518

510

125

125

125

148

148

165

224

256

256

227

227

282

15

18

19

27

30

35

64

64

66

68

70

74