在宇宙空间中，根据邻近星系的程度， 10-18 hPa 以下的压力 占主导地位。在地球上，已经报道上产生的压力低于 10-16 hPa。低至 10-16 hPa 的气压范围涵盖 10 的负 19 次幂。 根据不同真空获得设备和测量设备所能达到的真空度，我们 又把真空范围根据真空度进行了分类，如Table 1.2 所示。
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压力范围
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压力 hPa
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压力 Pa
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数密度/cm3
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M平均自由程 [m]
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气压
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1,013.25
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101,325
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2.7·1019
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6.8·10-8
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低真空 (LV)
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300…1
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30,000…100
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1019…1016
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10-8…10-4
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中真空 (MV)
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1…10-3
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100…10-1
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1016 …1013
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10-4…10-1
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高真空 (HV)
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10-3…10-7
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10-1…10-5
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1013…109
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10-1…103
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真空 (UHV)
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10-7…10-12
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10-5…10-10
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109…104
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103…108
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极高真空 (XHV)
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<10-12
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<10-10
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<104
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>108
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