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真空泵排气速度和电导率的单位换算

m3/s L/s L/min cm3/s
m3/s 1 103 6×104 106
L/s 10-3 1 60 103
L/min 1.667×10-5 1.667×10-2 1 16.67
cm3/s 10-6 10-3 0.06 1
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