用于恶劣环境的 iXH 系列真空泵

iXH 干式真空泵系列在严苛工艺环境下的工作能力、可靠性和更低的拥有成本方面树立了新标杆。

• ·宽广的温度范围使您可以对真空设备进行优化，更大地减少冷凝和电镀的副产物累积
• ·iXH Mk2 干式泵可在严苛的工艺中提供更长的使用寿命，并且可以显著提高功效
• ·新的密封技术可以延长制程寿命并降低泄漏风险
• ·采用 XCEDE 技术，增强了耐腐蚀性。