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用于实验涂层的真空泵
真空泵通常用于实验涂层工艺,帮助在多种类型涂层(如薄膜、太阳能电池涂层和电子设备防护涂层)的沉积过程中创建和保持真空环境。
一般而言,这些流程涉及将待涂覆的基材置于真空室中。然后使用真空泵排出真空室中的空气和其他气体,从而形成低压环境。将真空室排空至所需压力后,涂层材料会以气体或蒸汽的形式进入真空室;真空对于保持可复制的一致条件至关重要。涂层材料粘附在基材表面,形成薄膜。
实验涂层流程中使用不同类型的真空泵,如旋片泵、膜片泵和涡轮分子泵。每种类型的泵都有自己的优缺点,泵的选择在很大程度上取决于真空涂层容器的尺寸和涂层流程的特定要求。
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