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爱德华干式多级罗茨泵nXL110i
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产品名称:
爱德华干式多级罗茨泵nXL110i
产品型号:
A77032320
产品展商:
Edwards
关注指数:3
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简单介绍
NXL110I 干式多级罗茨真空泵 是一种高性能的真空泵,广泛应用于对洁净度和可靠性要求较高的工业与科研领域。
主要应用领域
半导体与电子行业
用于芯片制造、刻蚀、离子注入等工艺,避免油污染,满足高洁净度要求。
光伏与太阳能电池生产
在薄膜沉积、PVD/CVD 等工艺中提供无油真空环境。
分析仪器
配合质谱仪、电子显微镜等设备,确保无烃污染。
化工与制药
处理腐蚀性或有毒气体时,干式设计避免油液污染产品。
科研与实验室
适用于高真空实验、材料科学等需要清洁抽气的场景。
爱德华干式多级罗茨泵nXL110i
的详细介绍
产品特点
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干式无油设计
-
多级罗茨结构
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高效节能
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耐腐蚀与长寿命
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低维护需求
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紧凑与模块化
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低振动与噪音
技术数据
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Units
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nXL110i
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nXL200i
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Pumping speed (pneurop 6602)
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m3h-1
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110
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200
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Ultimate vacuum (total pressure)
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mbar
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<2 x 10-2
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Inlet flange
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NW40
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Outlet flange
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NW40 / NW50
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Maximum permitted outlet pressure
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bar gauge/psig
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0.5 / 7.0
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Operating temperature range
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oC
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10 - 40
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Nominal rotational speed
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rpm
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9000
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Power connector 1-ph
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IEC EN60320 C19
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Mains voltage
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V
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200 - 240 (+/- 10%)
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Power at typical application condition (2 - 10 mbar)
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kW
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0.7 - 0.9
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Flow at typical application condition
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slm
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3-15
|
6-22
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Leak tightness
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mbar ls-1
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1.0 x 10-5
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Weight
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kg
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75
|
81
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Noise (pressure)
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dB(A)
|
56.7
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Vibration at inlet flange
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mms-1 (rms)
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<2.5
|
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