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如果您对该产品感兴趣的话,可以 产品名称: 爱德华干式多级罗茨泵nXL110i
产品型号: A77032320
产品展商: Edwards
关注指数:3
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简单介绍

NXL110I 干式多级罗茨真空泵 是一种高性能的真空泵,广泛应用于对洁净度和可靠性要求较高的工业与科研领域。 主要应用领域 半导体与电子行业 用于芯片制造、刻蚀、离子注入等工艺,避免油污染,满足高洁净度要求。 光伏与太阳能电池生产 在薄膜沉积、PVD/CVD 等工艺中提供无油真空环境。 分析仪器 配合质谱仪、电子显微镜等设备,确保无烃污染。 化工与制药 处理腐蚀性或有毒气体时,干式设计避免油液污染产品。 科研与实验室 适用于高真空实验、材料科学等需要清洁抽气的场景。

爱德华干式多级罗茨泵nXL110i  的详细介绍


产品特点

  1. 干式无油设计

    • 无需润滑油,避免油蒸气污染,适合洁净敏感工艺。

  2. 多级罗茨结构

    • 通过多级串联设计实现更高的压缩比和真空度(可达 10⁻³ mbar 范围)。

  3. 高效节能

    • 优化转子设计减少能量损耗,运行成��低于传统油封泵。

  4. 耐腐蚀与长寿命

    • 关键部件采用特殊涂层或耐腐蚀材料(如镍合金),适合处理腐蚀性气体。

  5. 低维护需求

    • 无油设计省去定期换油的维护,仅需定期清洁或更换过滤器。

  6. 紧凑与模块化

    • 结构紧凑,易于集成到复杂真空系统中,支持多泵并联扩展抽速。

  7. 低振动与噪音

    • 精密动平衡转子设计,运行平稳,适合安静环境(如实验室)。


技术数据
Units nXL110i nXL200i
Pumping speed (pneurop 6602) m3h-1 110 200
Ultimate vacuum (total pressure) mbar <2 x 10-2
Inlet flange NW40
Outlet flange NW40 / NW50
Maximum permitted outlet pressure bar gauge/psig 0.5 / 7.0
Operating temperature range oC 10 - 40
Nominal rotational speed rpm 9000
Power connector 1-ph IEC EN60320 C19
Mains voltage V 200 - 240 (+/- 10%)
Power at typical application condition (2 - 10 mbar) kW 0.7 - 0.9
Flow at typical application condition slm 3-15 6-22
Leak tightness mbar ls-1 1.0 x 10-5
Weight kg 75 81
Noise (pressure) dB(A) 56.7
Vibration at inlet flange mms-1 (rms) <2.5

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