岛津磁悬浮轴承涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统,无需使用油润滑,在运转过程当中,无任何摩擦,是真正做到无油、免维护、全方位安装的涡轮分子泵。
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空冷型
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型号
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TMP-
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TMP-
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TMP-
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TMP-
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TMP-
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TMP-
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203M
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303M
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403M
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803M
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1003M
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2003M
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排气速度L/S (N2)
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190
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320
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420
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800
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1080
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2000
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大吸气压力Pa
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1.3
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0.23
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到达压力(烘烤后)Pa
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10-8Pa
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10-9Pa
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广域型
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型号
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TMP-
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TMP-
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TMP-
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TMP-
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TMP-
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TMP-
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TMP-
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TMP-
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TMP-
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TMP-
|
TMP-
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203LM
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303LM
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403LM
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803LM
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1003LM
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1303LM
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2003LM
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2203LM
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3203LM
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3403LM
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4203LM
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排气速度L/S (N2)
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190
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320
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420
|
800
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1080
|
1300
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2000
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2050
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3200
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3300
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4000
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大吸气压力Pa
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200
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400
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133
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67
|
40
|
40
|
10
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10
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到达压力(烘烤后)Pa
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10-8Pa
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10-9Pa
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10-8Pa
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10-6Pa
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10-9Pa
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10-8Pa
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10-7Pa
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