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Edwards:真空泵大化性能
克劳利--(BUSINESS WIRE)--(商业资讯)--Edwards Limited是一家全球的
真空
设备和尾气处理系统制造商及相关增值服务提供商,该公司近日推出了其STP-iXA4506大容量涡轮
分子泵
(TMP)。这款产品旨在为半导体、平板显示器、LED和太阳能电池板制造商节省更多成本。
Edwards TMP产品营销经理Shinichi Yoshino 表示:“STP-iXA4506
涡轮泵
是改良抽气性能的一体化解决方案。它采用了Edwards新的转子设计和成熟且高度的iXA系列机载控制器,使容许的通过的气量大化,从而使高流量过程所需的涡轮泵数量减至,尤其是在太阳能和平板应用中。泵集成的控制器免去了对线缆和独立控制器机架的需求,因而也节省了成本,体积紧凑易于在应用中快速安装。此外,就像我们的磁浮式涡轮泵一样,无需机械轴承的特性免除了定期维护的成本。”
这款涡轮泵的高抽速度(4300 l/s N2) 和高流量(高达4300 sccm N2)结合其抽吸轻气体和重气体的能力,使STP-iXA4506适用于许多不同的大流量、高流动性应用,包括半导体蚀刻、LCD蚀刻、玻璃镀膜、太阳能PVD和PVD镀膜。其高度集成的设计包括一个密封的电子模组,以在严苛的工厂环境中实现稳健、的操作。需要时还可增加一套加热系统,以减少来自工艺过程中副产物的沉积物和微粒的堆积。
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