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Edwards展出适用太阳能等产业的真空及尾气处理系统新品


真空产品和尾气处理系统及相关加值服务的全球供应商Edwards公司 (NASDAQ: EVAC),在2012年再度参加SEMICOM Taiwan半导体展览,展示其业界之真空和尾气处理系统的新产品系列,展场位于台北世贸南港展览馆,Edwards公司展位编号为545。


Edwards是干式真空泵浦系统的,其适用于半导体及其他相关产业包括LED、平面显示器、太阳能产品等产业的生产制造沉积制程,处理恶劣与腐蚀性的化学环境。

  Edwards的干式泵浦解决方案和尾气处理系统的运作不仅环保,而且十分具有效益。其干式泵浦如iXL 和 iXH系列可以地节能减碳。今年SEMICON Taiwan展场中新发表的iXL1000,是为电介质刻蚀及轻型应用所设计的干式真空泵浦, 相较于成功的同等级iGX/GX系列干式泵浦,它能再降低多达33%的耗电量。同样的,Edwards的尾气处理解决方案,也有类似的绿色环保特色,并能降低燃油消耗。


  Edwards的干式泵浦和尾气处理系统正在被应用于台湾的半导体及相关产业,当中包括台湾主要的代工产业,Edwards在台湾至今已经安装过22,000台干式和涡轮分子泵浦,以及3,000组尾气处理系统。台湾了外延片代工模式,在充满挑战的全球环境下,台湾的外延片代工厂持续投资于的,并把组件尺寸缩少到在奈米尺寸制程。Edwards的干式泵浦和尾气处理系统,在台湾能成功将半导体制程跨入深次微米 (deep-submicron) 的过程中,扮演了重要的关键角色;同时在日益重要的化合物半导体生产等新兴制程中,Edwards也能根据新的应用之需求,提供适合的产品组合。


  Edwards亚太区总裁 Neil Lavender-Jones指出:“Edwards在台湾了两方面的作用。我们业界的干式泵浦,对现今半导体生产制程中所需的真空环境而言,是关键的核心。Edwards帮助整个产业以低成本获得、及节能的真空环境,并在维持高产量和高硅片“一次成功率”中了重要作用。同样重要的是,我们的尾气处理系统了在这些制程中产生的高污染物质,包含可能加速全球暖化的气体,将没有任何机会扩散到自然环境里。对于 Edwards公司来说,环保是企业的首要社会责任,我们始终不变的目标是将环境的碳足迹减到少。”


  2011年,Edwards客户在全球各地的设备总共减少排放相当于8,500,000公吨的二氧化碳。Edwards将参与9月6日(星期四)在台北世贸南港展览馆402A室,由SEMICON Taiwan 2012展会举办的绿色制程趋势论坛,强调Edwards在环境管理中扮演的角色和肩负的责任。论坛主题是绿色生产制造的,真空产品业务经理 Mike Percy和产品经理Jerome Boegner将会发表演说,题目为“真空和尾气处理系统在能源和设备方面的节省优势” (时间为下午3:00到3:30)。

  自1998年Edwards在台湾设立以来,公司的规模已成长五倍,员工数从42名扩展至目前共有205名。2010年Edwards更加强对台湾客户的承诺,于苗粟县竹南镇设置一占地5,000平方米 的服务销售中心,为顾客带来更贴近的在地服务,并扩展各项服务的范围。随着Edwards在台湾不断的提供服务改进和支援,也吸引了众多的客户,在短短两年内,公司在台湾的服务业务已经出现的成长。

  Edwards在亚洲深耕达四十年,现在与此区域各个的半导体制造商合作,提供整合式真空和尾气处理解决方案,包括建置、管理、服务和支援。


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