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产品名称:
好性能SUNX晶圆定位传感器，DPH-A27
产品型号:
DPH-A27
产品展商:
日本Panasonic松下
关注指数:365
产品文档:
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简单介绍
好性能SUNX晶圆定位传感器，DPH-A27
好性能SUNX晶圆定位传感器，DPH-A27
好性能SUNX晶圆定位传感器，DPH-A27
的详细介绍
好性能SUNX晶圆定位传感器，DPH-A27
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安全性**的LED式
以往使用激光的激光式定位传感器，激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员，十分危险。
M-DW1成功使用LED光源。确保操作人员安全。
因此，受晶圆厚度和反射光量的影响较小。
基于2段受光元件的高精度位置检测
可从四个方向引出电缆 稳定指示灯 绿色LED（稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯）
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通过反射光位置而非反射光量进行检测。
实现0.5ms的高速反应。兼顾高速反应性和高精度。
氮化膜具有可吸收特定波长光的性质，吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。
NPN开路集电极晶体管
定时器功能 装备约2ms固定断开延迟定时器 有效/无效切换式
投光停止输入 信号条件 PNP开路集电极晶体管
M-DW1以反射光的位置来检测，不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。
亦可检测玻璃晶圆 可检测涂氮晶圆 工作状态指示灯 橙色LED（输出ON时亮起）
0.4V以下（流入电流为16mA时） 源电流：100mA 投光停止：断开或4 8V
投光：0 3V或9V +V（26.4V MAX.）
灵敏度切换输入 信号条件
亦可检测玻璃晶圆
短路保护 装备（自动复位） 外加电压：30V DC以下（输出和+V之间）
因此，对于使用单波长激光的传感器，可能会因光全被吸收而无法检测。
可从四个方向引出电缆
消耗电流 65mA以下 输出 NPN输出／PNP输出 可由切换开关选择
利用反射光量检测时，反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。
输出动作 可用切换开关选择入光时ON/非入光时ON
而LED光源的光具有一定波长段，即使氮化膜晶圆也可准确检测。
0.5ms的高速反应 <NPN输出>
剩余电压：1V以下（源电流为100mA时）
0.4V以下（源电流为16mA时） 内置放大器的小巧、轻盈型
尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm，质量约为75g的小巧、轻盈型。
好性能SUNX晶圆定位传感器，DPH-A27
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