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SMC高真空阀，XLAV-25F-M9BA-4L

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铝制高真空L型阀   XL□
 系列/CAD 动作方式 轴密封形式
 阀形式 材质 法兰尺寸
XLA  气控 波纹管密封 单作用
(N.C.) 阀体：
　铝合金
波纹管：
　SUS316L 16～80
XLAV
(带电磁阀) 
XLC  双作用
XLCV
(带电磁阀) 
XLF  O形圈密封
 单作用
(N.C.) 阀体：
　铝合金 16～160
XLFV
(带电磁阀) 
XLG  双作用 16～80
XLGV
(带电磁阀) 
XLD  波纹管・
O形圈密封
 单作用
(N.C.) 阀体：
　铝合金
波纹管：
　SUS316L 25～80
XLDV
(带电磁阀) 
XLH  手动 波纹管密封
 手动 阀体：
　铝合金
波纹管：
　SUS316L 16～50
XLS  电磁式 波纹管压力平衡 单作用
(N.C.) 16, 25
特长 抗氟腐蚀能力强。
放出气体少。
重金属污染少。

高真空角阀系列XL 特点
（XLA/ XLAV的波纹管密封，单作用）
颗粒和清洁室兼容波纹管
类型
•压力平衡机制
（XLC/ XLCV的波纹管密封，双作用）
颗粒和清洁室兼容波纹管
类型
•压力平衡机制
（XLF/ XLFV的O形圈密封，单作用）
•低气体夹带O型圈与就业
密封系统
•高速响应
•通过特殊的表面颗粒减少
**轴封。
（XLG/ XLGV的O形圈密封，双作用）
•低气体夹带O型圈与就业
密封系统
•高速响应
•通过特殊的表面颗粒减少
**轴封。
XLD/ XLDV的（2步控制，单作用）
•初始阶段，排气阀和排气阀主要
被组合。 （流速2步控制阀）
•一个紧凑的系统设计并减少
管道
•防止颗粒内部动荡
室中耗尽。
•防止泵运行，而超载。
•初始排气阀门的流量是可调的。
XLH（波纹管密封，手动）
•波纹管类型为可吸入颗粒和清洁。
•压力平衡机制允许不受限制
排气方向。
•低启动力矩（0.5 N·m以下）
•Spring提供了标准的密封比压。
•手柄高度是相同的，当阀门打开或
关闭。
•指示灯确认阀门的开启和关闭
是标准装备。
XLS（波纹管压力平衡，常闭
XLS电磁）
•颗粒物减少，因为没有滑动
金属零件。
•压力平衡机制允许不受限制
排气方向。
•控制电源的电磁阀驱动电路
已取得的标准。
•可用于便携式设备中，因为空气驱动
是没有必要的。

SMC高真空阀，XLAV-25F-M9BA-4L

High Vacuum Angle Valves Series XL Features
XLA/XLAV (Bellows seal, Single acting)
• Particulate-free and clean room compatible bellows
type
• Pressure-balance mechanism
XLC/XLCV (Bellows seal, Double acting)
• Particulate-free and clean room compatible bellows
type
• Pressure-balance mechanism
XLF/XLFV (O-ring seal, Single acting)
• Low gas entrainment with employment of O-ring
seal system
• High speed response
• Particulates are reduced through special surface
treatment of shaft seal.
XLG/XLGV (O-ring seal, Double acting)
• Low gas entrainment with employment of O-ring
seal system
• High speed response
• Particulates are reduced through special surface
treatment of shaft seal.
XLD/XLDV (2-Step control, Single acting)
• Initial stage exhaust valve and main exhaust valve
are combined. (flow rate 2-step control valve)
• Designed with a compact system and reduced
piping
• Prevents particulate turbulence inside the
chamber during exhaustion.
• Prevents pumps from running while overloaded.
• Initial exhaust valve flow is adjustable.
XLH (Bellows seal, Manual)
• Bellows type is particulate free and cleaned.
• Pressure balance mechanism allows unrestricted
exhaust direction.
• Low actuation torque (0.5 N·m or less)
• Spring provides standard sealing load.
• Handle height is the same when valve is open or
closed.
• Indicator to confirm opening and closing of valve
is standard equipment.
XLS (Bellows pressure balance, Normally closed
XLS electromagnetic)
• Particulates are reduced because there are no sliding
metal parts.
• Pressure balance mechanism allows unrestricted
exhaust direction.
• A control power supply circuit for solenoid valve drive
has been made standard.
• Can be used in portable equipment since air for drive
is not necessary.

SMC高真空阀，XLAV-25F-M9BA-4L

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