ATH2300MT/ATH2303M磁悬浮分子泵保养维修上海赫哲真空设备有限公司

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产品名称：ATH2300MT/ATH2303M磁悬浮分子泵保养维修
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产品展商：真空泵维修
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简单介绍

产品描述

技术参数	ATH 2300 MT	ATH 2303 M
氢气抽速	1100 l/s	1100 l/s
氦气抽速	1650 - 1800 l/s	1650 - 1800 l/s
氩气抽速	1450 - 2000 l/s	1450 - 2000 l/s
氮气抽速	1550 - 2150 l/s	1550 - 2150 l/s
氢气压缩比（ISO 5302）	> 2 · 10³ l/s	> 1 · 10³ l/s
氦气压缩比（ISO 5302）	> 3 · 10⁴ l/s	> 3 · 10⁴ l/s
氩气压缩比（ISO 5302）	> 1 · 10⁸ l/s	> 1 · 10⁸ l/s
氮气压缩比（ISO 5302）	> 1 · 10⁸ l/s	> 1 · 10⁸ l/s
极限压力	< 6 · 10⁻⁹ mbar	< 6 · 10⁻⁹ mbar
*大前级真空（氢气）	0.75 mbar	0.75 mbar
*大前级真空（氦气）	2 mbar	2 mbar
*大前级真空（氩气）	3.5 mbar	3.5 mbar
*大前级真空（氮气）	2.8 mbar	2.9 mbar
*大进气真空（氩气）	0.006 mbar	0.025 mbar
*大进气真空（氮气）	0.015 mbar	0.25 mbar
*终转速下的氢气气体流量	> 1000 sccm	> 4000 sccm
*终转速下的氦气气体流量	> 1000 sccm	> 4000 sccm
*终转速下的氩气气体流量	500 sccm	1500 sccm
*终转速下的氮气气体流量	1000 sccm	4000 sccm
建议吹扫流量	50 sccm	50 sccm
转速	31000 rpm	31000 rpm
可调转速	15000 rmp 至标称转速	15000 rmp 至标称转速
从开始启动到达到*终转速的 90% 所需要的时间，排放压力 < 0.1 mbar	< 8 *小	< 8 *小
调节器电源	200-240 V，50/60 Hz 单相	200-240 V，50/60 Hz 单相
启动时的*大功耗	1000 W	1000 W
额定功率（待机功率）	130 - 380 W	130 - 380 W
*高加热温度	75 °C
*高烘烤温度	120 °C	120 °C
推荐冷却水流量	60 l/h	60 l/h
冷却水温度	15 - 40 °C	15 - 40 °C
遥控器类型	Magpower	Magpower
推荐前级泵	ADP/ADS	ADP/ADS
声压级（ISO 2151）（在额定转速下，距离设备 1 米处测量）	< 47 dB(A)	< 47 dB(A)
额定转速下的振动水平	< 0.01 μm	< 0.01 μm
尺寸（Ø x H）	312 x 354.1-398.1* mm	312 x 354.1-398.1* mm
尺寸（Ø）	310 mm	312 mm
重量（约）	60 kg	60 kg
调节器重量（约）	8.7 kg	8.7 kg
进气口	DN 200、DN 250	DN 200、DN 250
排气口	DN 40 ISO-KF	DN 40 ISO-KF
N₂ 吹扫法兰	DN 16 ISO-KF	DN 16 ISO-KF
不锈钢进气滤网（出厂设定）	是	是
允许的磁场强度（径向值）（在距离设备 10 厘米处）	< 12 mT	< 12 mT
机载控制器控制选项	Profibus，远程	Profibus，远程

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