上海赫哲真空设备有限公司
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AIGX-D-DN40CF 有源离子真空计
产品资料
AIGX-D-DN40CF 有源离子真空计
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
AIGX-D-DN40CF 有源离子真空计
产品型号:
D04862000
产品展商:
真空测量仪表
产品文档:
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简单介绍
紧凑型有源离子真空计配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝,测量范围极广,从 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar(5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr),并且提供 1 V/decade 线性输出。Edwards 的 AIGX 真空计具备行业标准的有源压力测量概念的优势,同时集成了电子器件和可更换的管件。该真空计脱气装置,而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。
产品描述
概述
紧凑型有源离子真空计配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝,测量范围极广,从 6.6 x 10
-2
到 6.6 x 10
-10
mbar(5 x 10
-2
到 5 x 10
-10
Torr),并且提供 1 V/decade 线性输出。Edwards 的 AIGX 真空计具备行业标准的有源压力测量概念的优势,同时集成了电子器件和可更换的管件。该真空计脱气装置,而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。
得益于极低的带电微粒辐射,AIGX 成为不能有背景噪声的制程的佳选择。
功能和优势
的 8 decade 测量功能,可达 6.6 x 10
-10
mbar (5 x 10
-10
Torr)。
有两种款型可用,每一种又有三种真空联轴器变型:
“D”型具有 9 针“D”接头盒标准接口;
“S”型具有增强的功能,与 Edwards 的控制器兼容。
与主要竞争对手相比,带电粒子制程污染减少了 30%。
自动防止在大气条件下启动灯丝以及在高压下运行或脱气。
在整个测量范围内真空计灵敏度始终保持稳定,从而可以在更高压力下保持输出精度。
在脱气过程中可以连续进行压力测量输出。
性设计消除了 X 射线限制的影响。
双色 LED 提供真空计状态的本地指示。
输入电压范围宽。
电子器件极易拆卸以进行高达 200 °C 的加热。
“S”型提供有无缝的自动发射电流切换,延长了灯丝寿命。
“S”型提供有诊断输出,指示“发射关闭”、“灯丝烧坏”和“过压跳闸”,以帮助进行故障排除。
“S”型提供有一个可以用按钮调整的设定点。
数据
压力范围
6.6 x 10
-2
至 6.6 x 10
-10
mbar
(5 x 10
-2
至 5 x 10
-10
Torr)
电源供给
+14.5 至 +30.0 V 直流
功耗
正常工作:7W(大),
脱气:14W(大)
输出信号
线性,1 V / decade
响应时间
1.33 x 10
-8
mbar
(>10
-8
Torr) ˜ 100 ms
1.33 x 10
-8
mbar
(<10
-8
Torr) ˜ 1-2 s
大电压
30 V(直流)
大电流
100 mA(大)
工作环境
干燥的非导电性大气
温度范围
工作温度
0 至 +40 °C
存储温度
-30 至 +70 °C
有关更多信息,请与 Edwards 联系。
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