真空泵油 H11012013 上海赫哲真空设备有限公司

如果您对该产品感兴趣的话，可以
产品名称：Edwards TW 真空泵油 4升
产品型号：H11012013
产品展商：真空油
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简单介绍

Edwards TW 是为旋转泵油要暴露在活泼气体或腐蚀性气体中的应用的。该油是蒸馏碳氢化合物，不含添加剂，但是已去除不饱和链和芳香链。因此，该油的持续时间多可达到精制矿物油的 20 倍，具体取决于制程。更长的油的使用寿命可减少换油次数。

产品描述

概述

我们强烈建议仅使用等级和质量的液体和密封剂，以便使 Edwards 产品保持高性能。如果使用劣质材料，可能会导致泵或系统效率降低、设备部分或故障以及严重的漏气。我们认为在许多严苛的应用中，使用性未经验证的液体和密封剂反倒不。我们的液体和密封剂均经过正规实验室检测。而且，我们通过自行使用这些材料，以及通过与出现非典型问题的用户保持密切联系，获得了相当丰富的现场经验。许多的设备性能不佳问题终都是由于使用了不适当或不合格的液体和密封剂而造成的，因此我们郑重劝告您为应用选择正确的液体和密封剂。

基于矿物的材料
这些材料包括旋转泵油、Diffstak 以及扩散泵油和油脂。它们可针对不同的应用选用添加剂。

基于硅的材料
这些材料用于 Diffstak 以及扩散泵液体和油脂。它们由二甲基硅氧烷或苯基甲基硅氧烷构成。

有机化合物
这些材料包括受阻酯类、苯基醚类和基于萘的化合物。它们适用于 Diffstak 和扩散泵，但在有些的应用中，也可以用作旋转泵油。Edwards 可以对液体与特定应用之间的匹配提供建议。

氟化材料 (PFPE)
这些材料是全氟聚醚。全氟聚醚是一种氟化的材料，没有其他卤素和氢，因此对要求不含碳氢化合物的情况有价值。它会对 UF6、F2、O2、O3 等大多数活性化学物质保持惰性，并且在暴露到电子和大多数离子辐射中时不会发生聚合反应。全氟聚醚液体提供适用于旋转泵的等级。还提供低蒸汽压力的 Fomblin® 油脂 (AR555)，该油脂同时具有良好的润滑特性和的真空特性。

用于半导体应用的 PFPE
在侵蚀性制程条件会快速破坏普通碳氢化合物泵油的应用中，全氟聚醚 (PFPE) 化合物用量将出现大量增长。这尤其适用于半导体制程中。PFPE 的防腐蚀特性和化学惰性可大大延长工作时间，减少换油和维修次数，为许多严苛的泵应用提供性价比的解决方案。以下为 PFPE 的基本特性及其在真空系统应用中
的优势：

化学惰性：是泵送腐蚀性材料的理想选择，尤其适用于半导体制程。
高抗氧化性：液体不会由于在工作温度下反复暴露到空气中而被破坏。
非易燃：无火灾危险。
抗高温：不会由于过热而残留焦油化合物。终减少气态产物。
氧相容：可地泵送氧气（经 NASA 批准的液氧系统）。对纯氧建议的高工作温度和压力是 250 ºC 和 91.4 kg cm-2 ，以及 60 ºC 和 175.75 kg cm-2。
无聚合反应：暴露在高能粒子辐射下时不会发生聚合反应（氢离子除外）。这可以减少回流蒸汽的影响，在不能出现聚合反应的应用中（例如在电子显微镜中）是一项重要特性。
能与大多数常用溶剂混合：即使不使用气囊，也可以泵送溶剂。

在加入 PFPE 之前，需要彻底清洁泵，以便充分其性能优势。如果您没有经验丰富的人员，建议您将泵送到 Edwards 维修中心进行清洁和填充。有些可使用 PFPE 的高真空旋转泵和机械增压泵型号是作为标配提供的，可以在此目录的相应章节中找到。这些泵是用 PFPE 进行组装和测试的。

说明：全氟聚醚是氟化物，如果暴露在 280 °C 以上的温度下，将释放出有毒蒸汽。请勿将 PFPE 暴露在明火中，并且工作场合禁止吸烟。

应用

Edwards TW 是为液体要暴露在活泼气体或腐蚀性气体中的旋转泵应用的：

蒸馏
半导体

化学泵

功能和优势

该油是蒸馏碳氢化合物，不含添加剂，但是已去除不饱和链和芳香链。因此，该油的持续时间多可达到精制矿物油的 20 倍，具体取决于制程。更长的油的使用寿命可减少换油次数。

数据

蒸汽压力 mbar：
20°C	1.3 x 10-6
100°C	-
分子量	430
15°C 时的比重	0.860
粘度 cSt：
20°C 时	155
40°C 时	65
倾点 °C	-12
闪点 °C	243
自燃点 °C	270
含硫量百分比（质量/质量）	0

25 °C 时的蒸汽压力

产品目录

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Edwards TW 真空泵油 4升

概述

应用

功能和优势

数据