真空系统利用机械超高真空泵或分子泵，将特定空间内的气体抽出，创造出低压或超低压环境。在这个环境中，气体分子的平均自由程增大，氧气、水蒸气等污染物被有效去除，从而形成稳定的干净环境。这种低压环境可以有效地降低反应速率、控制气氛成分、避免污染以及提高工业过程的可控性。
在工业领域中，真空系统的应用范围广泛。先是半导体工业。在集成电路、太阳能电池、平板显示等工艺中，需要在非常纯净无尘的环境下进行操作。真空系统可以移除空气中的尘埃和有害气体，保证工艺过程的可靠性和产品质量。
光学薄膜镀膜工艺。在光学仪器制造、镜片镀膜等过程中，需要在低压环境下进行制造，使得薄膜的光学性能更好。真空系统的应用可以确保薄膜的均匀性和附着力，提高光学器件的性能。
真空系统还被广泛应用于材料热处理、真空干燥、真空冷却等工艺中。在材料热处理过程中，真空系统可以控制材料的表面反应，防止氧化、脱气等**现象的发生。在真空干燥和冷却过程中，真空系统可以快速将水分从材料中除去，降低材料的温度，避免热传导和氧化反应。
