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简述干式真空泵的工作原理
简述干式真空泵的工作原理
干式真空泵是一种不需要润滑油的机械泵,它利用机械运动将气体转移至高真空的设备中,其主要工作原理包括压缩和排放两个步骤。
在压缩阶段,空气经过进口被进入泵壳中,在机械运动的作用下被压缩并进入流道。流道被设计成从水平方向转向垂直方向,因此在气体通过流道时会产生离心力,使气体沿着流道壁运动并被压缩。这时空气已经被转移至泵的出口并进入排放阶段。
在排放阶段,气体穿过泵的出口并进入放大器,放大器会将气体加速并将其释放到出口处。放大器主要由喇叭形管道和几个叶轮组成。当气体通过喇叭形管道时,其速度会增加并在叶轮的帮助下增加其压缩程度。*终,排放出的气体将被轻松地转移至所需要的设备中。
由于干式真空泵不需要使用润滑油,因此它非常适用于那些需要高度洁净的应用领域,例如半导体生产和表面等离子体处理。此外,干式真空泵还具有高效、耐用和易于维护的特点,广泛应用于各种高真空应用领域。
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